ÀÎõ¼ÒÀç MGÄÚ¸®¾Æ(ÁÖ)(´ëÇ¥ À±¸í´ö)°¡ »ç¾÷ÀåÀÇ ÀÌÀüÈ®ÀåÀ» À§ÇØ °æ³² ¾ç»ê ¿õ»óÀ¾¼ÒÀç °í¾Ð°¡½ºÀúÀå½Ã¼³À» Àϰý ¸Å°¢ÇÑ´Ù.
¾ç»ê ÀúÀåâ°í´Â ÃÑ 70ÆòÀ¸·Î »ê¼Ò, Áú¼Ò, ¾Æ¸£°ï µî ÀϹݰí¾Ð°¡½º´Â ¹°·Ð HCl(¿°È¼ö¼Ò), SiH4(½Ç¶õ), NO(»êÈÁú¼Ò), BF3(»ïºÒȺؼÒ), Cl2(¿°¼Ò), NH3(¾Ï¸ð´Ï¾Æ) µî 10¿©°¡ÁöÀÇ µ¶¼º°¡½º Ãë±Þ(ÀúÀå.ÆÇ¸Å)Çã°¡¸¦ º¸À¯Çϰí ÀÖÀ¸¸ç µ¶¼º°¡½º 󸮽ü³µµ °®Ãè´Ù.
¸Å°¢´ë»ó¿¡´Â Çã°¡±Ç°ú ÄÁÅ×ÀÌ³Ê »ç¹«½ÇÀÌ Æ÷ÇԵǸç ÀÚ»ê°ú ±Ç¸®±Ý, ÀӴ뺸Áõ±Ý µîÀ» Æ÷ÇÔÇØ ¿¹»óµÇ´Â ¸Å°¢±Ý¾×Àº ÃÑ 8õ¸¸¿ø °¡·®ÀÌ´Ù.
ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº 032)555-2491(´ã´çÀÚ : À±¸í´ö)·Î ¹®ÀÇÇÏ¸é µÈ´Ù.
ÇÑÆí i°¡½ºÀú³Î¿¡¼´Â »ê¾÷¿ë°¡½º¾÷°è¿Í °ü·ÃÇÑ ÃæÀü¼Ò, ÆÇ¸Å¾÷¼Ò, ÀúÀå½Ã¼³ ¹× Áß°íÀåºñ(ÀúÀåÅÊÅ©, ÅÊÅ©·Î¸® µî)¿¡ ´ëÇÑ ¸ÅÀÔ, ¸Å°¢(ºñ¹Ðº¸Àå)À» ¿øÇϽô ºÐµé²² Á÷°Å·¡ ÁÖ¼± ¹× Áö¸éÇÒ¾Ö µîÀ» ÅëÇÑ ÄÁ¼³ÆÃÀ» ÇØµå¸³´Ï´Ù. ¸¹Àº ÀÌ¿ë¹Ù¶ø´Ï´Ù. |