최근 반도체제조 공급용 특수가스 및 고순도가스 등의 꾸준한 수요증가가 예상되면서 용기내 불순물을 통한 1차적인 오염을 막기 위한 사업의 일환으로 최고 99.99999%의 순도를 유지할 수 있는 용기 내면처리 업체가 등장해 주목을 받고 있다.
이미 6단계의 제품등급을 분류하고 생산체제에 돌입한 대한실린더(주)(대표 박규훈)는 최근 내면연마, 진공가열기, HOT DI, 가공(연마)기 등 전문설비를 완비하고 이달부터 특수가스 수요처 및 제조업체 등을 대상으로한 영업을 본격화한다고 밝혔다.
경기 안산에 사업장을 둔 이 회사는 반도체용 초고순도 특수가스용기의 내면처리에 대해 기술력을 확보하고 기존 내면처리업체가 보유한 공전, 자전방식의 설비를 한층 보완해 용기의 상하부처리까지 가능토록 했으며 일반순도의 특수가스(99.99%)부터 초고순도(99.99999%) 보장용 용기생산이 가능하다.
이 회사의 생산품질은 기본 S등급(내면쇼트후 세척, 건조)부터 P-V등급(내면연마 및 Vaccum & Heating후 실가스 충전) 등 총 6단계에 이르며 고객이 요구하는 단계까지 용기당 약 3～5시간 동안 10여가지 이상의 가공을 거친 후 출고된다는 설명이다.
특히 대한실린더는 기존 내면처리에서 사용되는 세척수로부터 발생할 수 있는 오염을 방지하기 위해 최대 정류과정을 거친 DI(초순수) Water를 사용하는 것이 특징이다.
현재 이 회사는 수출을 목표로 국제품질인증인 ISO 인증을 추진중에 있으며 현재 40～47ℓ용기가 전문이지만 향후 소형용기에 대한 생산도 적극 검토하고 있다.
하지만 시장성을 고려해 알루미늄 용기에 대한 내면처리 사업추진은 어려운 실정이다.
박승근 생산총괄팀장은 “하루에 24본의 용기생산이 가능하고 초고순도가스 용기의 경우 내시경 촬영이 어려울 정도로 품질이 보장된다”고 말했다.
또한 “일본의 경우 고순도 내면처리용 용기를 별도로 제작하고 있지만 대한실린더는 일반 스틸용기로도 가공이 가능하다는 것이 장점”이라고 설명했다.
한편 최근 품질경영을 선언하고 나선 반도체업계를 비롯 각종 고순도가스 수요처를 중심으로 순도유지를 위한 용기 내면처리기술에 대한 관심이 높아지는 상황에서 내면처리 전문업체의 등장은 가스업계의 고충을 어느 정도 해소할 수 있을 것으로 기대되는 부분이다.
