F2, NF3 등 반도체용 특수가스 국산화 눈길

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F2, NF3 등 반도체용 특수가스 국산화 눈길한국반도체산업대전에 성원Ed, 대백신소재 등 출품

i가스저널 | webmaster@igasnet.com

승인 2003.11.15

국내 반도체산업의 현주소를 한눈에 엿볼 수 있는 한국반도체산업대전(SEDEX Korea '2003)이 지난달 23일부터3일간 서울 삼성동 코엑스에서 개막돼 성황을 이뤘다.

한국반도체산업협회(회장 이윤우)가 주최하고 산업자원부와 과학기술부의 후원으로 열린 이번 전시회에는 한국을 비롯 6개국 1백35개사가 참가해 역대 최대 규모로 꾸며졌다.

특히 가스관련업체로는 성원에드워드, 대백신소재 등 반도체관련 특수가스 제조 및 관련장비업체가 참가해 제품소개와 관련한 홍보에 경쟁을 벌이며 관람객의 눈길을 끌었다.

성원에드워드는 연내 출시 예정인 F2 제너레이터를 선보였으며 NF3의 국산화로 반도체용 특수가스 제조업체로 주목받고 있는 대백신소재도 NF3는 물론 현재 개발을 목전에 두고 있는 WF6의 향후 시작개척을 위한 홍보전을 펼쳤다.

한편 이번 전시회의 일환으로 지난 1년간 국내 반도체 장비.재료.소자 기술 발전에 앞장서 온 공로업체에 대한 한국반도체기술개발경진대회 시상식 및 유공자 포상도 실시됐다.

대표적인 수상업체로는 삼성전자가 대상을, 장비재료부문 산업자원부 장관상에 주성엔지니어링의 황철주 대표와 진공부품업체인 베스텍이 수상했으며 장비재료부문 협회장상에는 파이컴 기술연구소 이정훈 이사, 알파플러스의 황도원 대표, 대백신소재의 천경우 이사가 대표로 수상했다.

특히 연마재.용해제.특수가스 생산업체인 대백신소재는 반도체 제조공정용 핵심 가스인 NF3 국산화에 대한 공로를 인정받았다.

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