영국 BOC에드워드의 한국법인인 성원에드워드(주)(대표 김중조)는 이번 전시회에 진공장비.터보펌프.가스처리장치를 출품해 관심을 끌었다. 또한 최근 천안에 생산공장을 추진중인 F2 제너레이터 및 F2(불소)에 대한 장비기술설명 및 향후 사업설명회도 열었다.
성원에드워드가 천안공장에서 올해 말부터 세계 최초로 양산에 들어가는 F2 제너레이터는 기존의 PFC 계열의 NF3처럼 반도체.LCD의 매 공정별로 장비 내부의 세정에 사용되는 가스로 NF3와 달리 대기에 잔류하지 않아 지구온난화 현상을 심화시키는 NF3를 급속히 대체하고 있는 차세대 청정 물질로 평가받고 있다.
따라서 성원은 일단 F2 제너레이터를 공급하면 반도체 소자업체가 현장에서 적당량의 가스를 발생시킨 후 사용할 수 있지만 향후 대형 F2제너레이터를 통해 파이프라인으로 공급하는 방식도 검토하고 있는 것으로 전해졌다.
성원에드워드는 F2 제너레이터 및 F2의 국산화로 기존 90% 이상의 NF3 등 기존 PFC계열의 가스를 대체, 5년 후에는 약 1천억원의 수입 대체효과를 거두게 될 것으로 기대하고 있다.
