대백신소재㈜, NH3 정제기술 특허 획득

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대백신소재㈜, NH3 정제기술 특허 획득NF3의 필수원료…지난해 4천만원 상당 수입

i가스저널 | webmaster@igasnet.com

승인 2003.11.15

반도체용 특수가스제조업체인 대백신소재㈜(대표 하영환)는 지난 14일 특허청으로부터 ‘고순도 NF3 제조를 위한 NH3(암모니아) 가스 정제방법’에 대해 특허를 취득했다고 밝혔다.

이번 특허는 NF3의 필수원료이자 제품의 순도와도 직결되는 NH3를 고순도로 정제하는 기술로서 대백은 NF3의 양산에 돌입하기 직전인 지난 2001년 4월경 특허를 출원해 2년6개월만에 특허를 취득했다.

현재 대백신소재는 HF(불화질소)와 NH3를 주원료로 하여 NF3를 제조하고 있으며 지난해에만 NF3제조를 위해 4억6천2백만원 상당의 HF와 4천만원상당의 NH3를 수입한바 있다.

한편 업계전문가들은 NF3 사업 확대와 함께 SiH4 등으로 특수가스 제품의 다양화를 추진하고 있는 대백신소재가 이번 특허취득을 바탕으로 향후 화합물반도체 및 LED(발광다이오드)용 고순도 NH3 분야에도 진출할 가능성이 있는 것으로 분석했다.

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