충북 천안소재 한국메티슨특수가스㈜(대표 김동관)가 화합물반도체 분야의 핵심소재인 고순도 블루암모니아의 자체 제조(정제)설비를 완공하고 본격적인 공급에 나선다.(관련기사 제46호 12면)
최근 한국메티슨특수가스는 “지난 13일 한국가스안전공사로부터 NH3 제조설비 및 C3F8 충전설비의 완성검사를 마치고 반도체제조업체들을 대상으로 마케팅을 강화하고 있다”고 밝혔다.
이번에 완공된 NH3(암모니아) 제조설비는 미국 본사로부터 수입한 저순도 NH3를 순도 99.99996%의 고순도 블루암모니아로 정제하게 되며 최대 생산능력은 연간 1백10톤 규모이다. 또한 C3F8(8불화프로판) 충전설비는 하루 30～40여개의 실린더 충전이 가능한 연간 약 4백30톤 수준의 공급능력을 갖추고 있다.
이미 삼성전자, 하이닉스반도체 등 메이저 반도체 업체들이 이들 특수가스에 대한 시제품 테스트를 진행중이며 테스트가 마무리되는 오는 5월경이후부터 본격적인 공급이 이루어질 것으로 한국메티슨측은 기대하고 있다.
특히 이 회사는 반도체용 특수가스의 공급능력 확대를 위해 NH3.C3F8과 함께 현재 BF3(블루오르화붕소)의 충전설비도 건설중에 있으며 이달중 완성검사를 받고 공급을 개시할 예정이다.
한편 한국메티슨의 한관계자는 NH3와 관련 “장기적으로 경쟁력강화를 위해 국내에서 원료공급원을 발굴할 계획이지만 당분간은 기존 시스템을 유지할 계획”이라고 덧붙였다.
