구랍4일부터 日 마쿠하리메쎄…전세계 25개국 1천4백27개사 참가
반도체용 산업용가스는 물론 장비, 설비 등 세계최대의 반도체관련 장비재료전시회인 ‘세미콘 재팬 2002' 전시회가 지난 12월4일부터 3일간 동경 마쿠하리메쎄(지바현)에서 ‘새로운 도전! 윤택한 미래로의 약진!’이란 캐치프레이즈 아래 개최됐다.
세계 반도체 시장의 흐름을 한 눈에 파악할 수 있었던 이번 전시회는 일본에서만 26회째로 세계 25개국 총 1천4백27개사가 참가, 최신 기술을 집약한 장비와 신제품을 선보였다.
최근들어 전세계 반도체 시장경제가 중국을 위시한 서아시아지역으로 이동하면서 전년대비 다소 규모가 감소했지만 ‘세미콘 재팬 2002’ 전시회장은 예년과 다름없는 성황을 보여줬다.
세계 반도체 경기의 흐름에 따른 특수가스의 개발현황을 파악하기 위해 구랍 4일 인천공항을 출발, 일본으로 출국한 시찰단은 낯선 곳에서의 여독을 뒤로한 채 동경 나리타공항 도착후 곧바로 전시장으로 향했다.
일본 마쿠하리메쎄 전시장은 일단 외형적인 규모면에서 총 12개(1～8홀, 9～11홀, 이벤트홀) 홀(hall)에 4천15부스(전년도 4천3백37부스)로 전공정(Front-end Equipment), 후공정(Test, Assembly, Packaging), 전공정관련 등으로 구분되어 전시가 이루어졌다.
출품업체의 규모는 우리나라에서 29개사가 참가한 것을 비롯 일본 8백63개사, 미국 3백57개사, 영국 17개사, 대만 8개사 등 총 25개국 1천4백27개사(전년대비 13%감소)였으며 11만명이상의 관람객이 전시장을 찾았다고 일본 반도체협회는 추산했다.
산업용가스관련 출품업체는 일본 에어리퀴드, 아사히글라스, BOC에드워드, 센추럴그라스, 지요다, 다이도에어프로덕트, 다이킨, 하니웰, 칸토덴카, 코이케산소, 미쓰비시가스케미컬, 일본산소, 일본 로타렉스, 싸이즈케터스, 수미토모케미컬, 타이요도요산소, 토쿄가스케미컬, 제온 등 20여개사였으며 특수가스에 대한 홍보와 수출입 상담을 활발히 진행했다.
가스관련 출품장비는 온사이트 F2 제너레이션 시스템, 프라즈마 운용시스템, 액체 초저온 장비, 리모트 모니터링 시스템, 가스캐비닛, 정제기 등 수십종에 달했다.
한 출품업체는 “반도체용 산업용가스는 N2, NF3, CF4, C3F8, C2F6, SiH4, AsH3, PH3, B2H6, WF6 등 총 80여종으로 실리콘웨이퍼, CVD, 에칭, 클리닝, 빽그라인딩, 몰딩 등 반도체 제조 전과정에 걸쳐 사용된다"고 설명했다.
이같이 반도체용 특수가스는 세미콘이라는 큰 틀 속에서 주요재료로서는 없어서는 안될 중요한 위치를 차지하고 있으며 세계 어느 곳에서도 우리 가스업계가 추구해야할 분야나 부분이 아직 상존해 있다는 사실을 이번 전시회 일정에서 다시금 강한 느낌을 전달받았다.
한편 한국 반도체장비재료전시회(SEMICON KOREA 2003)는 오는 1월21부터 3일간 서울 삼성동소재 코엑스(COEX)전시장에서 개최될 예정이다.
<SEMICON JAPAN '2002 참관단>
이원식, 서정우, 김경호(이상 대성산소), 이은주(화승가스테크), 김성수(PS Chem), 이연승(MG코리아), 김완호, 손원희(이상 금영), 조영길, 김원태(이상 플러스윈테크), 김충곤, 김동혁, 이영재, 우동배(이상 한국캠브리지필터), 손동만, 이봉섭(나노하이텍), 김성열(제이테크코리아), 서정윤, 남기주(이상 리노공업), 김회원(신성이엔지), 이락순, 허혁(이상 주최측) 등 총 22명
<참고>
일본 반도체가스 시장현황
지난 30여년동안 일본 특수가스 시장은 전체시장규모와 생산량 모두에서 강한 증가세를 유지해 왔다.
물론 반도체시장의 침체가 나타났던 지난 92년, 98년에는 동반악화 현상이 나타나기도 했지만 지난해 반도체시장이 20～30%감소에 이르는 심각한 수준에 이르면서 관련가스시장도 40～50%에 이르는 축소가 나타난 것은 이번이 최초이다.
일본은 반도체가스 시장에 있어 세계최대 공급거점에 위치해 있다고해도 과언이 아니다. 한국, 대만, 싱가포르의 성장과 미국.유럽에도 CF4를 중심으로 한 가스량의 증가로 수출비율은 매년 상승하고 있다. 예를들어 일부 불소제조업체의 경우 판매수량의 50%이상을 수출하는 경우도 있다.
전체적으로 보면 일본 총 출하품의 20%는 해외를 겨냥한 것으로 추정된다. 금액으로 따져봐도 약 7천5백억원 규모(용기충전기준)이다. 즉 일본을 근거지로한 반도체가스 충전용기가 전세계를 순환하고 있는 셈이다.
반도체용 특수가스의 주 생산거점은 미국과 일본으로 이중 미국은 ASiMI사(모노실란), 에어프로덕트(NF3)라는 세계 최대급의 생산능력을 가진 업체가 존재한다. 반면 가스종류의 다양함에 있어서는 일본이 단연 세계 최고 수준을 자부한다.
실제로 일본은 AsH3를 제외한 20종류 이상의 특수재료가스 모두를 생산하고 있다고 해도 좋을 정도이다. 특히 CF4는 에칭가스의 주력이면서 고부가가치 고순도 가스로서는 쇼와덴코, 다이킨工業, 칸토덴카 등 일본의 3개 가스업체 외에는 특별한 제조사가 없다. 어찌보면 미국의 인텔이나 IBM, 모토로라, 마이크론 등도 모두 일본의 CF4에 의해 제조가 가능하게 됐다고 말해도 과언은 아닌 것이다.
이러한 특수가스의 양대 강국인 일본과 미국간에도 가스 수출입은 활발하게 진행되고 있다. NF3와 같이 에어프로덕트 일렉트로닉스, 칸토덴카, BOC, 에어리퀴드 등 쌍방향 거래가 되는 가스가 있다면 CF4처럼 대미 수출 또는 미국으로부터 수입되는 아르신 등의 단일 방향성 가스도 존재한다.
그러나 이 두 국가를 제외한 대다수 다른 지역에서는 미.일로부터의 공급이 기본 루트라고 볼 수 있다. 특히 성장이 두드러지는 한국, 대만시장은 지리적으로도 가까운 일본에의 의존도가 높은 편이다. 예를 들어 에칭계(系)가스에 있어서 쇼와덴코 화인제품부의 한관계자는 “대만에 현지법인인 쇼와특수기체(SSG)를 설립한 적도 있으며 CF4, C2F4 등으로 60～70%의 시장점유율을 차지하고 있다”고 설명한다. 나머지 30～40%도 칸토덴카나 다이킨工業 등 일본에서 수입하는 주요상품들이 대부분이다.
에칭가스 뿐만아니라 대만에서는 일본 에어리퀴드, 오사카산소(BOC)라는 다국적 계열사로부터 수입하는 경향도 두드러진다. 여기에 한국.대만을 주요시장으로 하는 아시아 지역에서 미국의 주요상품은 모노실란이나 NF3 등이 있는데 이것 또한 100% 직접 공급하는 것이 아닌 일본으로부터 수입해 공급하고 있는 실정이다. 결국 아시아지역의 경우 일본으로부터의 수입의존도가 압도적으로 높다는 설명이다.
본지 추정으로는 한국, 대만, 싱가포르, 중국 등 아시아지역 반도체용 특수가스의 70～80%는 일본으로부터 공급되고 있는 것으로 보여진다. |
