일본 유수의 특수가스 제조업체인 쇼와덴코는 최근 보도자료를 통해 “고밀도집적회로(LSI)의 수요증대, 90나노미터 공정의 도입 확산 등에 따른 특수가스 수요확대에 대비하기 위해 건식에칭용 특수가스인 C4F6 관련 사업을 향후 수년간 지속적으로 확대할 계획”이라고 밝혔다.
C4F6(hexafluoro-1,3-butadiene)는 LSI의 회로선폭을 나노미터 수준으로 극소화하는데 반드시 필요한 핵심소재로 전세계 전자.반도체 제조업체들의 나노공정 도입이 잇따르면서 수요가 큰 폭의 증가를 나타낼 것으로 기대되고 있다.
지난해 일본업체중 최초로 C4F6의 상업생산을 개시한 쇼와덴코는 이번 사업확대를 위해 러시아의 모업체와 파트너쉽을 체결했으며 이 업체로부터 제공받은 원료가스를 일본 가와사키 플랜트에서 정제하여 관련업체들에게 공급할 방침이다.
이와 관련 쇼와덴코는 C4F6와 함께 C5F6도 90나노미터 공정도입으로 성장가능성이 높은 특수가스라고 지목했지만 C5F6를 직접 제조할 계획인지 여부는 정확히 밝히지 않았다.
한편 쇼와덴코는 이같은 내용을 포함한 향후 6년간의 중장기 비즈니스플랜을 내년중 공식 발표할 예정이라고 덧붙였다.
