반도체 장비 생산업체인 아토(대표 오순봉)가 충북 청원소재 오창과학공단에 특수가스 공장을 완공하고 지난 1일 준공기념식을 개최했다.
이번에 준공된 아토의 특수가스공장은 지난 9개월간 총 1백30억원을 투자, 각종 최신 분석기와 계측기들을 완비한 국내최대 규모인 5백94평의 특수가스제조시설과 5백여평의 사무공간 등 연면적 1천3백여평 규모로 건립됐다.
아토의 문상영 대표는 기념사에서 “특수가스사업 진출은 ‘토탈가스솔루션’ 공급을 목표로 최근 수년동안 추진했던 사업다각화의 일환”이라며 “강력한 경쟁력을 지닌 초우량 기업으로 거듭날 수 있도록 모든 노력을 경주하겠다”고 강조했다.
이에따라 아토는 오는 12월경부터 저순도 원료를 흡착.증류하는 방식으로 99.999～99.9999%의 고순도 N2O(아산화질소, 48,960㎏/월), CO2(1,800㎏/월), NH3(암모니아, 1,800㎏/월) 등 반도체용 특수가스를 양산, 공급한다는 계획이다.
또한 순수가스 부분에서도 순도 99.9999%의 산소, 질소, 아르곤, 수소, 헬륨 등에 대한 공급능력을 갖추었으며 혼합가스나 아직 국내에서 취급하지 않는 반도체용 특수가스 등으로 사업영역을 확대키 위해 현재 해외 관련업체와의 기술제휴 등에 적극 나서고 있다.
특히 이번 오창공장 준공으로 반도체용 특수가스 분야에서 연간 수십억원 이상의 수입대체효과가 기대되고 있다.
한편 이날 준공식에는 오순봉 회장, 문상영 사장을 비롯 대통령직속 중소기업특별위원회 한준호 위원장, 한국가스안전공사 충북지역본부 조은구 본부장, 업계관계자 등 1백30여명이 참석해 성황리에 이루어졌으며 산업용가스업계에서도 20여명의 인사가 행사장을 찾아 깊은 관심을 표명했다.
