20개국 530여개 업체 참가…역대 최대 규모

국내 최대 반도체 장비·재료 전시회인 ‘세미콘 코리아(Semicon Korea) 2017’이 지난 2월 8일부터 2월 10일까지 3일간 서울 삼성동 코엑스 전시장에서 성황리에 개최됐다.

올해로 30회째를 맞은 이번 행사는 ‘반도체:혁신 미래를 설계하다’를 주제로 전 세계 반도체 장비재료 산업을 선도하는 전세계 20개국, 530여 업체가 참가해 자사의 각종 반도체 관련 장비와 신기술 등을 선보였다.

특히 이번 전시회는 역대 최대 규모(1,893개 부스)로 개최되면서 참가 업체 수는 물론 관람객들도 큰 폭으로 늘어나 지난해 반도체 시장의 호황을 가늠케 했다. 무엇보다 휴대폰 수요가 늘어나면서 관련 제품이 소형화되고 전류가 낮은 반도체가 참관객의 눈길을 끄는 등 최근 달라지고 있는 반도체 산업 트렌드도 확인됐다.

한 반도체 부품 업체 관계자는 “최근 반도체 부품은 기존보다 더 고도화되고 정밀함을 요구하는 추세”라며 “반도체를 만들 때 발생하는 이물질이 덜 생기도록 하는 장비도 인기를 끌고 있다”고 말했다.

SEMI 조현태 대표의 개회사를 시작으로 한 개막식에서는 SK하이닉스 홍성주 부사장, HP VP&HP 시리칸트 타카 부사장, IMEC 룩 반덴호브 사장, 마이크로소프트 일란 스필링거 수석부사장이 반도체 미래에 대한 기조연설을 진행했다.

이 가운데 SK하이닉스 홍성주 부사장은 지난 50년간 반도체 산업계에서 큰 획을 그은 핵심적인 기

술 혁신을 소개하고 앞으로 나아갈 방향을 제시해 주목을 받았다.

홍 부사장은 “반도체 시장은 이제 스케일링의 한계에 달아 대안 기술이 필요한 시점이며 미세공정만으로 반도체 기술 발전이 어려운 하드 스케일링 시대”라며 “EUV(극자외선노광장비)나 낸드플래시 등 업계에 대안이 필요하다”고 언급하는 등 현 반도체 상황에 대한 구체적인 진단을 내렸다.

반도체 관련 장비·시스템 등 제품 및 기술 홍보

각종 특수가스 생산 기술 및 제품 소개

이번 행사의 주요 출품 목록으로는 반도체 제조공정에 쓰이는 각종 특수가스 생산 기술 시스템과 함께 프라즈마 운용시스템, 액체 초저온 장비, 리모드 모니터링 시스템, 가스 캐비닛 등 가스관련 장비 수십여 종과 기술들이 전시 및 소개됐다.

우선 케이씨텍을 비롯해 유진테크, 에드워드, 동우화인켐, 한양이엔지, 주성엔지니어링 등의 반도체 장비업체가 최신 반도체·장비관련 제품과 태양전지 제조 장비를 선보이며 관람객들을 맞았다. 특히 이들 장비업체는 이번 전시회에 반도체 회로선폭이 10나노미터(㎚)대로 미세화되는 추세에 발맞춰 수율(yield)과 생산성(Throughput)을 높일 수 있는 장비들을 대거 출품했다.

이 가운데 케이씨텍은 반도체 세정장비(Cleaner) 및 웨이퍼 연마장비(CMP) 등을 공개했다. 아울러 신수종사업인 전자소재와 관련, 지르코늄산화물(지르코니아)을 활용한 신소재인 고굴절도료도 공개했다. 또한 회사는 합작사와 자회사를 통해 울트라 퓨어가스 퓨리파이어를 비롯해 토탈가스 스크럼버 솔루션, 반도체 연마제(슬러리) 등 반도체와 디스플레이 장비는 물론 전자소재 등 유관분야 사업을 패널로 소개해 눈길을 끌었다. 최근 소재 사업을 강화하기 위해 경기 안성 본사 부지 내에 4공장을 준공하고 본격 가동에 들어간 케이씨텍은 이를 통해 1공장(가스장치)과 2공장(반도체장비), 3공장(디스플레이 장비·소재)에 이어 4공장에서 디스플레이 장비와 함께 소재 생산을 본격화한다는 방침이다. 현재 케이씨텍은 티씨케이와 케이케이테크, 케이피씨 등 합작사를 비롯해 케이씨이엔씨, 케이씨티엔에스, 케이씨아이엔에스 등 자회사를 거느리고 있다.

케이씨텍 관계자는 “최근 4공장 가동은 주력인 디스플레이 장비에 신수종인 소재 사업을 강화하기 위한 차원”이라며 “창립 30주년을 계기로 장비와 함께 소재 제품군을 지속 확대, 글로벌 장비·소재 기업으로 도약할 것”이라고 말했다. 케이씨텍은 최근 30주년을 맞아 새로운 CI(기업이미지통합)도 공개했다.

이와 함께 주성엔지니어링은 이번 행사에서 저온에서도 반도체 웨이퍼(원판) 위에 균일하게 막을 입힐 수 있는 신개념 증착장비인 ‘공·자전 원자층 증착시스템’(SDP RX2)을 출품하며 관심을 끌었으며 유진테크는 반도체 웨이퍼 위에 산화막(Oxide)을 형성하는 원자층증착장비(ALD)를 공개했다.

이밖에도 진공 및 가스처리 솔루션 세계 최대 생산업체인 에드워드는 반도체 제조 공정에서 사용되는 진공 펌프 핵심 부품에 대한 새로운 부식방지 코팅기술인 ‘XCEDE’를 선보였으며 시노펙스는 자체개발한 차세대 반도체 화학기계연마(CMP) 공정용 슬러리 필터를 공개했다.

한편 이번 세미콘 코리아에서는 반도체 제조 공정 6개 분야의 최신 기술을 선보이는 심포지엄을 비롯해 마켓세미나, TEST 포럼,매뉴팩처링 포럼 등 다양한 주제의 전문 세미나와 포럼을 개최, 업체들이 최신 반도체 및 시장정보를 제공받을 수 있도록 했다. 이 가운데 올해 처음으로 선보이는 스마트 매뉴팩처링 포럼은 인텔, 지멘스, 어플라이드 머티리얼즈, SK하이닉스, BISTel 등 공급망별로 데이터 중심의 자동화된 솔루션 적용 사례 및 비전 발표를 통해 상호간 협업 방안을 모색하고 국제 동향을 공유했다.

또한 전시기간 동안 국내 반도체, 발광다이오드(LED), 평판디스플레이(FPD) 분야의 글로벌 경쟁력을 강화시키는 SEMI 국제표준회의가 개최됐으며 반도체 업계의 자발적인 참여로 이뤄진 HB-LED,

I&C, FPD Metrology 회의를 통해 관련 국제 표준에 대한 제정 및 개정이 이뤄지기도 했다.

아울러 글로벌 장비 공급업체와 국내 부품업체간 신규 비즈니스 협력을 지원하는 OEM 해외 장비업체 구매상담회, 업체 리더들이 참여하는 프레지던트 리셉션 등 다채로운 행사가 마련돼 관람객들은 물론 해외 바이어들의 높은 관심을 끌었다.

산업용가스 관련 업체, 자사 신제품 및 신기술 홍보

LDK·SKM·WONIKM·VERSUM·JT·ROTAREX 등 참가

이번 행사에서는 반도체 장비·재료 업체 뿐 아니라 제조공정에 사용되는 산업용가스 관련 업체도 참가해 각종 특수가스 관련 장비와 생산기술 시스템 등을 선보였다.

이 가운데 반도체 소재업체에 파이프라인을 통해 대량의 질소(N2)는 물론 아산화질소(N2O), 불소(F2) 등의 다양한 특수가스를 공급하고 있는 글로벌 산업용가스 업체인 린데코리아는 이번 행사를 통해 자사의 전자가스 분야의 공급역량을 적극 홍보해 눈길을 끌었다.

특히 회사는 이번 행사를 통해 국내 최대생산을 자랑하는 N2O와 관련 확대 생산을 통한 시장지배력 강화를 위해 증설계획(약 2배)을 밝혔다.

원익IPS, 원익쿼츠 등 관계사와 함께 참가한 토종 특수가스업체인 원익머트리얼즈도 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 비롯해 ISO Supply System, 각종 정제장치 등을 선보이며 관람객들을 맞았다. 이 회사는 Y톤용기 및 톤실린더 시스템을 통해 공급하는 포스핀(PH3), 이산화탄소(CO2), 염소(Cl2), 육불화황(SF6) 등을 안내책자와 패널을 통해 소개하기도 했으며 ISO튜브트레일러를 통해 공급하는 고순도 암모니아(NH3)를 비롯해 아산화질소(N2O), 저메인(GeH4), 디실란(Si2H4) 등의 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 바이어들에게 홍보하며 높은 관심을 얻었다. 뿐만 아니라 실리콘(Si) 기반의 전구체인 HCDS(Si2Cl6), 3DMAS, BDEAS와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 전구체 Cp-Zr 등을 소개한 원익머트리얼즈는 최근 신규시설 투자가 마무리 된 오창 제3공장에서 프리커서 등 본격적인 전구체 생산에 돌입한다는 계획을 설명하기도 했다. 아울러 전의 제2공장 부지에 연간 7만5,000BT 생산능력을 가진 세계 최대 규모의 엑시머레이저 제조시설을 현재 시험운전 중인 회사는 연내 상업생산에 나서 반도체 및 디스플레이 제조라인에 공급할 예정이라고 밝혀 주목을 받았다.

국내 최대 반도체용 특수가스제조업체인 SK머티리얼즈는 기존의 모노실란(SiH4), 육불화텅스텐(WF6)을 비롯해 국산화를 통해 국내기업에 공급중인 디실란(Si2H6), 디클로로실란(SiH2Cl2) 등을 선보였다. 또한 일본 및 대만법인 설립, 중국의 진강 및 시안법인 등에 대해서도 소개하는 등 특수가스의 해외진출에 대한 내용을 패널로 소개해 주목을 받았다. 특히 최근 세종시에 일본 트리켐사와 반도체용 전구체 제조판매 합작법인 SK트리켐을 설립한 회사는 전구체 공급에 대한 계획을 밝혔다. 아울러 일본 쇼와덴코와 손잡고 설립한 SK쇼와덴코를 통해 CH3F 등 반도체 및 디스플레이용 식각가스 사업을 추진할 계획이다.

지난해 에어프로덕츠에서 특수가스 사업분야 분사를 통해 올해 처음으로 전시회에 나선 버슘머트리얼즈코리아는 삼불화질소(NF3), 육불화부타디엔(C4F6), 사플루오르화탄소(SiF4), 아산화질소(N2O) 등 특수가스 제품과 함께 웨이퍼 가공공정서 안전하게 특수가스를 공급할 수 있는 장비를 선보였으며 신소재 사업분야인 박막 증착에 사용되는 전구체 물질 TEOS(사에틸 오르토실리케이트), TiCL4(사염화티탄), 특수케미칼 LTO-520 등을 소개했다.

올해 처음으로 참가한 충북 진천에 위치한 특수가스 제조업체 JT CORP는 아산화질소(N2O), 이산화탄소(CO2) 등의 각종 고순도가스와 혼합가스를 비롯해 반도체 제조 장비 및 주변기기용 배관부재, 가스판넬, 유닛류 등을 선보여 주목을 받았으며 초소형 전자산업용 특수가스, 화학물질 등 첨단소재 처리솔루션을 제공하는 인테그리스는 최근 반도체 및 LED응용분야의 웨이퍼 수율을 대폭 개선해 주는 가스정제시스템(GPS)인 게이트키퍼(Gate Keeper)를 개발해 제품 홍보와 함께 한국 내 시장 진출을 알렸다.

반도체관련 특수가스 및 케미칼 유통업체인 케이씨티엔에스는 고순도 가스플랜트 제조기술과 가스공급시스템을 비롯해 이와타니의 특수가스(헬륨, 크세논, 크립톤, 네온)와 논-플라즈마 자가 클리닝 가스, 클린용기 등을 패널로 함께 소개했으며 반도체용 특수소재 및 재료 생산업체인 ATMI가 반도체 및 디스플레이용 공정에 쓰이는 임플란트 가스 등을 홍보했다.

이와 함께 미국에 본사를 둔 오염관리 전문회사인 한국폴은 유수 산업용가스 메이커에 납품되고 있는 초고순도 가스정제기(다양한 가스에 적용 가능)를 비롯해 반도체 암모니아 공정에서 사용되는 최신 HB-LED용 암모니아가스 퓨리파이어, 질소 내 수분 측정을 위한 고감도 분석기 등을 홍보했으며 공압기기 제조 전문업체인 CKD는 질소 유량컨트롤러를 비롯해 질소 공급 시스템 유닛, 프로세스 가스용 레귤레이터 등을 출품했다.

이어 반도체 진공밸브 업체인 테라텍은 가스 혼합시스템 믹서를 비롯해 가스정화 시스템, 가스공급 시스템, 수소충전소 시스템 등의 기술을 선보였으며 공압기기 제조 전문업체인 CKD는 질소 유량컨트롤러를 비롯해 질소 공급 시스템 유닛, 프로세스 가스용 레귤레이터 등을 출품했다.

가스 밸브 및 레귤레이터 등 장비와 관련해서는 로타렉스그룹의 한국총판으로 특수가스 장비 전문기업인 로타렉스 루스테크는 모노실란(SiH4) 등의 실란계 가스용 밸브 및 레귤레이터 라인업인 S-라인과 불소(F2)용인 F라인, 삼불화질소(NF3)용인 T라인 등의 특수가스 전용 밸브제품 라인업을 선보

여 바이어들의 호평을 얻었다. 뿐만 아니라 소공간 자동 소화 시스템 및 완벽한 감지 및 화재 진압 시스템을 선보여 눈길을 끌었다.

이밖에도 드라스타, 성화전자, 하니웰, SMC, UCT코리아, 가스트론, UNILOK, 아래스 YUTAKA 등도 초고순도 밸브 및 레귤레이터, 가스 검지기·경보기 등의 가스관련 장비를 출품하며 자사제품 홍보에 나섰다.

올해 전세계 반도체 시장 ‘상승기류’ 유지

최소 3.3%~최대 7.2% 성장 예상

이번 세미콘코리아 개막에 앞서 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 전세계 반도체 시장과 관련한 기자간담회를 개최했다.

이날 간담회에서는 지난해 전세계 경제 호조와 함께 성장 곡선을 그렸던 글로벌 반도체 산업이 올해 더욱 강력한 상승기류를 탈 것이라는 예측이 나왔다.

SEMI의 댄 트레이시 시니어 애널리스트는 “2015년 경제 부진을 딛고 지난해 전 세계 경제 흐름이 반등하는 추세였다면 올해는 이런 흐름이 지속되면서 반도체 산업도 견조한 성장세를 이어갈 것”이라고 전망했다.

이어 “여러 산업 간 융복합을 통해 새로운 시장이 창출되는 가운데 반도체도 다양한 제품과 서비스에 채택되면서 산업 성장에 많은 기여를 하고 있다”며 “하지만 여전히 금융위기와 나라별 경제 정책 등 불확실한 요소가 남아있는 만큼 신중해야할 것”이라고 밝혔다.

그는 “자동차와 스마트시티, 사물인터넷(IoT)과 같은 시장에서 활발한 움직임을 보이며 반도체 기술을 활용하는 방식에서도 대대적인 변화가 예상되고 이에 따라 수요도 늘어날 것”이라며 이를 통해 전세계 시장 예측기관들도 올 한해 반도체 산업을 최소 3.3%에서 최대 7.2%까지 성장할 것으로 내다보고 있다고 말했다. 특히 “2020년까지 신규 출시되는 차량의 80%가 커넥티비티를 장착하고 전기차와 자율주행차가 본격적으로 보급되는 시기가 되면 반도체 산업도 동반 성장할 것으로 예상된다”고 덧붙였다.

반도체 생산 공정에 대한 투자 예측과 관련해서는 “투자 부분에서 삼성전자가 올해 Fab 장비 투자를 대폭 늘리면서 무난히 1위를 달성할 것으로 보이고 뒤를 이어 TSMC와 인텔, SK하이닉스 등이 투자

규모를 확대할 것으로 예상된다”며 “특히 첨단 메모리와 파운드리(Foundry) 부문에 투자가 집중될 것”이라고 내다봤다.

이밖에도 트레이시 애널리스트는 반도체 장비 부문에서 지난해 초 2016년을 예상했던 전망치보다 더 많은 성장을 기록했고 올해 3D 낸드(NAND) 부문 투자가 늘어나면서 9% 정도 성장 할 것이라고 전망했다.