SK¼î¿Íµ§ÄÚ, CH3F ¿¬»ê 20Åæ ±Ô¸ð ¼³ºñ±¸Ãà °èȹ
Àü·® ¼öÀÔÀÇÁ¸ Á¦Ç° ±¹»êÈ ½Ãµ¿
±×µ¿¾È »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3), ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4), À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ(WF6) µî ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÁÖ¿ä Ư¼ö°¡½ºÀÇ ±¹»êȸ¦ ½ÇÇöÇØ¿Â SK¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷¿¡¼ ¼ö¿ä°¡ ´Ã°í ÀÖ´Â CF°è ½Ä°¢°¡½º »ý»ê¿¡ ³ª¼¸ç ¶Ç ÇÑ ¹øÀÇ ºñ»ó(Þ«ß¾)¿¡ ³ª¼¹´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî(´ëÇ¥ ÀӹαÔ)´Â Áö³ 7¿ù 26ÀÏ °æºÏ ¿µÁÖ°øÀå ºÎÁö ³»¿¡¼ ÇÕÀÛÀÚȸ»çÀÎ SK¼î¿Íµ§ÄÚ(´ëÇ¥ À̱Կø)ÀÇ ½Ä°¢°¡½º»ý»ê°øÀå Âø°ø½ÄÀ» °³ÃÖÇß´Ù. À̳¯ Âø°ø½Ä¿¡´Â SK¸ÓƼ¸®¾óÁî ÀÓ¹Î±Ô ´ëÇ¥¸¦ ºñ·ÔÇØ SK¼î¿Íµ§ÄÚ À̱Կø ´ëÇ¥, ÆÄÆ®³Ê»çÀÎ ÀϺ» ¼î¿Íµ§ÄÚÀÇ »ç¾÷ºÎÀå, °æ»óºÏµµ ¿ìº´À± °æÁ¦ºÎÁö»ç, Àå¿íÇö ¿µÁÖ½ÃÀå, µµÀÇ¿ø, ½ÃÀÇ¿ø µî Áö¿ªÀÇ ÁÖ¿ä ÀλçµéÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
SK¼î¿Íµ§ÄÚ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶È¸»çÀÎ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî¿Í ½Ä°¢°¡½º Á¦Á¶ºÎ¹®ÀÇ ¼¼°è 1À§ ±â¾÷ÀÎ ÀϺ» ¼î¿Íµ§ÄÚÀÇ ÇÕÀÛȸ»çÀÌ´Ù. ÀÌ È¸»ç´Â Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø 3D³½µå¿ë °íºÎ°¡°¡Ä¡ ½Ä°¢°¡½ºÀÇ ±¹»êȸ¦ ÃßÁøÇϱâ À§ÇØ Áö³ÇØ 12¿ù ÇÕÀÛ¹ýÀÎ ¼³¸³ °è¾àÀ» ü°áÇÏ°í SK¸ÓƼ¸®¾óÁî 51%, ÀϺ» ¼î¿Íµ§ÄÚ 49%ÀÇ ÁöºÐÀ²·Î Áö³ 6¿ù1ÀÏ ¹ýÀμ³¸³ÀÌ ¿Ï·áµÆ´Ù.
½Ä°¢°¡½º¶õ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ »óÀÇ ÇÊ¿ä ºÎºÐ¸¸ ³²°ÜµÎ°í ³ª¸ÓÁö ¹°ÁúÀ» Á¦°ÅÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ÀÎ ½Ä°¢°úÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½º·Î ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È °øÁ¤ ¹× 3D³½µå È®»ê¿¡ µû¶ó ½Ä°¢°¡½º ¼ö¿äµµ ±Þ°ÝÈ÷ ´Ã¾î³ª°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ SK¼î¿Íµ§ÄÚ°¡ »ý»êÇÒ °¡½º´Â 3D³½µå ÀûÃþÈ¿¡ µû¶ó »ç¿ë·®ÀÌ ±ÞÁõÇÏ°í ÀÖ´Â CF°è ½Ä°¢°¡½ºÀÌ´Ù.
À̹ø ½Ä°¢°¡½º °øÀå °Ç¼³¿¡´Â ÃÑ 210¾ï¿øÀÌ ÅõÀÚµÇ¸ç ¿À´Â 12¿ù±îÁö ¿¬»ê 20Åæ ±Ô¸ð(¼¼°è ÃÖ´ë ±Ô¸ð)ÀÇ CF°è ½Ä°¢°¡½º(Ç÷ç¿À¸£¸Þź(CH3F)) »ý»ê¼³ºñ°¡ ±¸ÃàµÉ °èȹÀÌ´Ù. ÀÌÈÄ À°ºÒȺΟµð¿£(C4F6) µî °íºÎ°¡ CF°è °¡½º »ç¾÷µµ ¼øÂ÷ÀûÀ¸·Î ÃßÁøÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ¸ç ³»³â ÃÊ °í°´»ç¿¡¼ ÇʵåÅ×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÇÏ°í 2ºÐ±âºÎÅÍ´Â ¸ÅÃâÀ» º»°ÝÈ ÇÑ´Ù´Â Àü·«ÀÌ´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî¿Í ¼î¿Íµ§ÄÚ´Â ÇâÈÄ 3D ³½µå È®»ê¿¡ ¹ß¸ÂÃç »ý»ê ¼³ºñ Áõ¼³¿¡ ³ª¼¸ç Áß±¹ µî ±Û·Î¹ú ¼³ºñ È®Àå »Ó ¾Æ´Ï¶ó ´Ù¾çÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀç »ç¾÷ ÃßÁøÀ» À§ÇØ Àû±Ø Çù·ÂÇϱâ·Î Çß´Ù.
SK¼î¿Íµ§ÄÚ À̱Կø ´ëÇ¥´Â “°øÀå °Ç¼³±â°£ µ¿¾È ¾ÈÀü°ü¸®¿¡ ¸¸ÀüÀ» ±âÇÏ°í ÇâÈÄ SK¼î¿Íµ§ÄÚ¸¦ ¼¼°èÀûÀÎ ½Ä°¢°¡½º Àü¹® °ø±Þȸ»ç·Î ¼ºÀå½Ãų °èȹ”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
SK¸ÓÆ®¸®¾óÁî ÃøÀº À̹ø SK¼î¿Íµ§ÄÚ ½Ä°¢°¡½º°øÀå °Ç¼³À» ÅëÇØ ÃÖ±Ù °¢±¤ ¹Þ°í ÀÖ´Â 3D³½µå ¹ÝµµÃ¼¿ë ¼ÒÀç½ÃÀå¿¡¼ Á¦Ç° Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ È®´ëÇÏ´Â µî »õ·Î¿î ¼ºÀ嵿·ÂÀ» È®º¸, ´õ¿í °¡Æĸ¥ ¼ºÀå¼¼¸¦ À̾ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È °øÁ¤ ¹× 3D³½µå È®»ê¿¡ µû¶ó ¼ö¿ä°¡ ±ÞÁõÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç ƯÈ÷ CF°è ½Ä°¢°¡½ºÀÇ ½ÃÀå±Ô¸ð´Â 3,000¾ï¿ø ±Ô¸ð·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù.
SKÆ®¸®ÄÍ, ¼¼Á¾ ¸íÇлê´Ü ³» Àü±¸Ã¼ Á¦Á¶°øÀå ÁØ°ø
Àû±ØÀû ¸¶ÄÉÆà Àü·« ÅëÇØ Á¡À¯À² È®´ë ³ë·Á
ÀÌ¿Í ÇÔ²² SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â Áö³ÇØ ÀϺ»ÀÇ Æ®¸®ÄɹÌÄ®Þä(Tri Chemical Laboratories Inc.)¿Í ÇÕÀÛ ÅõÀÚÇØ ¼³¸³ÇÑ SKÆ®¸®ÄÍ(ÁÖ)(´ëÇ¥ ÀӹαÔ)ÀÌ Áö³ 8¿ù 1ÀÏ 3D³½µå ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÁÖ¿ä ¼ÒÀç Áß ÇϳªÀÎ Àü±¸Ã¼(Precursor)¸¦ Á¦Á¶ÇÏ´Â °øÀåÀ» ÁØ°øÇÏ°í º»°Ý »ý»ê¿¡ µé¾î°¬´Ù.
SKÆ®¸®ÄÍÀº ¼¼Á¾½Ã ¸íÇлê´Ü ºÎÁö¿¡ ¸¶·ÃµÈ ÀÌ °øÀå¿¡¼´Â Áö¸£ÄÚ´½(Zr)°è¿Í ½Ç¸®ÄÜ(Si)°è Àü±¸Ã¼¸¦ »ý»êÇÏ°Ô µÈ´Ù.
À̳¯ ÁØ°ø½Ä¿¡´Â SK¸ÓƼ¸®¾óÁî ¹× SKÆ®¸®ÄÍÀÇ ÀÓ¹Î±Ô ´ëÇ¥¿Í ÀϺ» Æ®¸®ÄɹÌÄ®ÀÇ Kiyoshi Tazuke ´ëÇ¥, SK(ÁÖ)(ÁÖ) PM3½ÇÀå µîÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
À̳¯ ÀÓ¹Î±Ô ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â “SK±×·ìÀÌ ÇÙ½É ¼ºÀ嵿·ÂÀ¸·Î »ï°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç»ç¾÷°í °ü·ÃÇÑ Æ÷Æ®Æú¸®¿À ´Ùº¯ÈÀÇ ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇÏ°í »ç¾÷´Ù°¢È¸¦ À§ÇÑ ³ë·ÂÀÌ Å« ¼º°ú·Î ³ªÅ¸³ª°Ô µÉ °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
Áö³ÇØ 6¿ù ¹ÝµµÃ¼ Ư¼ö°¡½º¾÷üÀÎ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî¿Í Àü±¸Ã¼ºÐ¾ß¿¡ ÃÖ°íÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» º¸À¯ÇÑ ÀϺ»ÀÇ Æ®¸®ÄɹÌÄ®ÀÌ °¢°¢ 65%, 35%ÀÇ ÁöºÐÀ²·Î ÅõÀÚÇØ ¼³¸³ÇÑ SKÆ®¸®ÄÍÀº ÃÖ±Ù D·¥ ¹× ³½µåÇ÷¡½Ã ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±â¼ú º¯È¿¡ µû¶ó °í¼ºÀå·°í¼öÀÍÀÌ ¿¹»óµÇ´Â Àü±¸Ã¼ Á¦Á¶È¸»çÀÌ´Ù.
Áö³ 9°³¿ù °£ ¾à 250¾ï¿øÀ» ÅõÀÚÇØ °Ç¼³µÈ ÀÌ Á¦Á¶°øÀåÀº Áö³ 3¿ù ½Ã¿îÀü¿¡ µ¹ÀÔ, °í°´»çÀÇ ÇʵåÅ×½ºÆ® µîÀ» °ÅÄ£ ¹Ù ÀÖ´Ù.
ȸ»ç ÃøÀº 8¿ùºÎÅÍ º»°Ý ÆǸſ¡ µé¾î°¡ 8¿ù ù ¸ÅÃâÀ» ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ Àû±ØÀûÀÎ ¸¶ÄÉÆÃÀü·«À»
ÅëÇØ Á¡À¯À²À» È®´ë½ÃÄÑ ³ª°¡°Ú´Ù´Â °èȹÀ¸·Î Áö¼ÓÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ßÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î Ãß°¡ÀûÀÎ ¾ÆÀÌÅÛ ¹ß±¼°ú »ç¾÷ȸ¦ ÃßÁø, ÇâÈÄ 2020³â 1,000¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâ ´Þ¼ºÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí Áö³ÇØ »ê¾÷¿ë°¡½º ¸ÞÀÌÄ¿ÀÎ SKC¿¡¾î°¡½º¸¦ ÀμöÇÑ SK¸ÓÆ®¸®¾óÁî´Â ¿ÃÇØ SKÆ®¸®ÄÍ ÇÕÀÛ¹ýÀÎ ¼³¸³À» ÅëÇÑ ¹ÝµµÃ¼¿ë ÇÁ¸®Ä¿¼¼ÒÀç »ç¾÷°ú ½Ä°¢°¡½º »ç¾÷ µî¿¡ ÀÕµû¶ó ÁøÃâÇÏ¸é¼ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Á¾ÇÕ °¡½º¸ÞÀÌÄ¿·Î ¹ßµ¸¿òÇÏ°Ô µÆ´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî, ÇϹݱ⠽ÇÀû Áõ´ë ±â´ë
¹ÝµµÃ¼ ¹× OLED µî Àü¹æ»ê¾÷ ¼ö¿ä È®´ë
ÇÕÀÛȸ»ç ¼³¸³°ú ´ë±Ô¸ð ÅõÀÚ µîÀ» ÅëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ºÐ¾ß »ç¾÷È®Àå¿¡ °¡¼ÓÆó´ÞÀ» ¹â°í ÀÖ´Â SK¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ Àü¹æ»ê¾÷ÀÇ ¼ö¿äÈ®´ë µîÀ¸·Î ÀÎÇØ ÇϹݱ⠽ÇÀûÁõ´ë¸¦ ±â´ëÄÉ ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¿ì¼± ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ßÀÇ °æ¿ì »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¼¼°è ÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀÎÀÎ ÆòÅà 3D ³½µå°øÀå°ú SKÇÏÀ̴нº ÀÌõ°øÀåÀÇ 3D ³½µåÇ÷¡½Ã »ý»ê¶óÀÎ(M14)ÀÌ 3ºÐ±âºÎÅÍ °¡µ¿¿¡ µ¹ÀÔÇÔ¿¡ µû¶ó ÀÌ¿¡ µû¸¥ Ư¼ö°¡½º(NF3·SiH4·WF6 µî) °ø±ÞÀÌ Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÅ ȸ»çÀÇ ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀÌ µÎµå·¯Áú °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ »ï¼ºµð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ À¯±â¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå(OLED) »ý»ê¶óÀÎ °¡µ¿·ü »ó½Âµµ Ư¼ö°¡½º ¼ö¿ä Áõ°¡·Î À̾îÁú °ÍÀ¸·Î º¸¿© SK¸ÓÆ®¸®¾óÁîÀÇ ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀ» À̲ø °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² »ç¾÷ Æ÷Æ®Æú¸®¿À ´Ùº¯È¸¦ À§ÇØ ¼³¸³ÇÑ ÇÕÀÛ»ç(JV)µéµµ ¿Ã ÇϹݱ⠸ÅÃâÀÌ ¹ß»ýÇÔ¿¡ µû¶ó ½ÇÀû Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. SK¸ÓƼ¸®¾óÁî °ü°èÀÚ´Â “2017³â ÇϹݱâºÎÅÍ SKÆ®¸®ÄÍ°ú SK¼î¿Íµ§ÄÚ µîÀÇ ÇÕÀÛ¹ýÀÎÀÇ ¸ÅÃ⠹߻ýÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù”¸ç “°¢°¢ Àü±¸Ã¼(ÇÁ¸®Ä¿¼)¿Í ½Ä°¢°¡½º »ý»êÀ» ÅëÇØ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Á¾ÇÕ °¡½º ±â¾÷À¸·Î ÀÚ¸® ÀâÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
|