¼¼°è ÃÖ°ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °±¹ÀÇ ¸é¸ð´Â ÃÖ»óÀÇ ¼ÒÀç¿Í Àç·á¸¦ ¿Ïº®ÇÏ°Ô °ø±ÞÇÏ´Â °ÍÀ¸·ÎºÎÅÍ ºñ·ÔµÈ´Ù.
¹ÝµµÃ¼¾÷ü¸¦ ºñ·ÔÇÑ Ã·´Ü»ê¾÷¿¡ ÃÖ»óÀÇ ÃÊ°í¼øµµ °¡½ºÇ°ÁúÀ» À¯Áö, °ø±ÞÀ» À§ÇØ ½ÉÇ÷À» ±â¿ï¿© ¿Â ¼¼°è ¼öÁØÀÇ ¿ë±â ³»¸é󸮱â¼ú º¸À¯¾÷ü°¡ ¸¶Ä§³» µîÀåÇß´Ù.
Ãֱ٠÷´ÜÀåºñ µµÀÔÀ» ÅëÇØ °í¾Ð¿ë±âÀÇ ¹Ù·¼ ¿¬¸¶¿Í ³»¸éó¸® µîÀÇ Àü¹®¾÷üÀÎ ÈÀνÇÅØ(ÁÖ)(Fine Cyl Tec)°¡ ±× ÁÖÀΰøÀÌ´Ù.
ÀÌ¹Ì ¼ö°³¿ùÀüºÎÅÍ ÃÊ°í¼øµµ °¡½º ¹× Ư¼ö°¡½º °ø±Þ ¹× À¯Åë¾÷üÀÇ °ü½ÉÀ» ÁýÁßÀûÀ¸·Î ¹Þ¾Æ ¿Â ÀÌ È¸»ç´Â ÃÖ±Ù ¿ë±â³»¸éÀÇ »êÈ ÇǸ·À» Á¦°ÅÇÏ°í Ç¥¸éÀÇ ½ºÅ©·¯Ä¡ ¹× Á¦Á¶°úÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â »óÇϺÎÀÇ ÁÖ¸§ »çÀÌÀÇ »êÈ ½ºÄÉÀÏÀ» ´ëÇؼµµ ¿Ïº®ÇÏ°Ô Á¦°ÅÇØ Ç¥¸é °ÅħÇö»óÀ» ÃÖ¼ÒÈÇÏ´Â ¿ë±â Polishing ±â¼úÀ» È®º¸ÇÏ°í Ç¥¸éÁ¶µµ 1µm<Ra ¶Ç´Â 0.1µm<Ra¸¦ ½ÇÇöÇØ ³Â´Ù.
ƯÈ÷ ÇϺÎÀÇ ÁÖ¸§ ¹× »êÈ ½ºÄÉÀÏÀ» ¿ÏÀüÈ÷ Á¦°ÅÇÑ ±ÕÀÏÇÑ ±¤ÅÃÀ¸·Î ¿ë±â³»¸éÀÇ Ç¥¸é 󸮸¦ ¿Ïº®ÇÏ°Ô ±¸ÇöÇØ ³¾ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¼³¸íÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ 1Â÷ °¡°ø ÈÄ °í¿ÂÀÇ DI WATER(17.8§Û) ¹× HOT N2(70~80¡É)¸¦ »ç¿ëÇÔÀ¸·Î½á ¿ë±â ³»ºÎÀÇ ¼öºÐ°ú ºÒ¼ø¹°À» ¿ÏÀüÈ÷ Á¦°ÅÇØ 2Â÷ ¿À¿°ÀÇ ¹ß»ýÀ» ¹æÁöÇÏ°í ¼øµµ¸¦ À¯Áö½ÃÅ°´Â °ÍÀÌ ÀÌ È¸»ç°¡ °¡Áø ±â¼ú·ÂÀÌ´Ù.
ƯÈ÷ ±âÁ¸ ¾÷üÀÇ °æ¿ì ¿ë±â³»¸é¿¡ ´ëÇÑ °¡°ø ½Ã°£ÀÌ 12½Ã°£ ÀÌ»ó ¼Ò¿äµÇ´Â ¹Ý¸é ÈÀνÇÅØÀÇ ¿ë±â °¡°ø½Ã°£Àº 6½Ã°£ À̳»·Î ÀÛ¾÷ÀÌ °¡´ÉÇØ ¿ë±â ³»ºÎÀÇ ºÒÇÊ¿äÇÑ ¸¶¸ð¸¦ Å©°Ô ÁÙ¿© ¾ÈÀüµµ¸¦ Çâ»ó½ÃÅ°°í ¿ë±âÀÇ ¼ö¸í°ú Á÷°áµÇ´Â Àç·áÀû, ±â°èÀû Ư¼ºÀ» À¯ÁöÇϴµ¥ ÃÊÁ¡À» ¸ÂÃè´Ù´Â ¼³¸íÀÌ´Ù.
°Ë»ç¹æ¹ý¿¡ À־µ ÀÔ°íµÈ ¿ë±âÀÇ °¡°ø ÀüÈÄ¿¡ ´ëÇÑ À°¾È °Ë»ç´Â ¹°·Ð ÀüÀÚ ³»½Ã°æÀ» ÅëÇØ °Ë»ç ÃÔ¿µÇØ °í°´ÀÇ ¿äû¿¡ ¼ö½Ã ´ëÀÀÀÌ °¡´ÉÇÒ Á¤µµÀÇ ¼ºñ½º ü°è¸¦ ±¸ÃàÇÏ°í ÀÖ´Ù´Â ¼³¸íÀÌ´Ù.
ÇöÀç ÈÀνÇÅØÀÌ º¸À¯ÇÑ Àåºñ·Î´Â ³»¸é°¡°ø±â 4´ë¿Í ¼îÆ®±â, °¡¿ Áø°ø±â, HOT D/I ½Ã½ºÅÛ, ÀüÀÚ ³»½Ã°æ, Ç¥¸é Á¶µµ°è, ½ÀµµÃøÁ¤±â ¹× ³»ºÎ Á¶¸í±â µîÀ» °®Ãß°í ÀÖÀ¸¸ç Çѱ¹À» ºñ·Ô Áß±¹, ű¹ µî¿¡ ±â¼úÀ» Àü¼öÇÏ°í ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼ ¼ö½Ê ³â°£ ÇÑ ¿ì¹°¿¡¸¸ ÁýÁßÇØ ¿Â Àü¹®°¡°¡ Æ÷ÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÚŸ°øÀÎ °í¾Ð¿ë±â°ü·Ã ±â¼úÀü¹®°¡ÀÎ ÀÌ È¸»çÀÇ ±èõ±Õ Àü¹«ÀÌ»ç´Â “Ư¼ö°¡½º¿Í ÃÊ°í¼øµµ°¡½ºÀÇ Ç°ÁúÀ¯Áö´Â ¿ë±â³»¸é󸮱â¼úÀÇ Á¢¸ñÀÌ °¡Àå Áß¿äÇÑ ´ë¸ñÀÔ´Ï´Ù. °¡½º Á¦Á¶±â¼úÀÌ ¾Æ¹«¸® ¶Ù¾î³ªµµ À¯ÅëÀ» Ã¥ÀÓÁö´Â ¿ë±âÀÇ ¿À¿° µîÀ¸·Î °¡½ºÀÇ Ç°ÁúÀ¯Áö°¡ ¾î·Æ´Ù¸é ¹«¿ëÁö¹°ÀÌ µÉ ¸¸Å ¿ë±â³»¸é󸮱â¼úÀº Á¦´ë·Î ó¸®µÅ¾ß ÇÒ °Í”À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
ƯÈ÷ “ºÎ½Ä¼ºÀÌ °ÇÑ È² ¶Ç´Â ºÒ¼Ò °è¿ÀÇ °æ¿ì ¿ë±â³»ºÎ¿¡ ÀÛÀº ÈìÁýÀÌ À־ ±× ÁÖº¯ ¿À¿°µµ°¡ »¡¶ó ¿ë±â»ç¿ë Ƚ¼ö Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ºÒ¼ø¹°ÀÇ Áõ°¡¸¦ ÇÇÇÒ ¼ö ¾øÁö¸¸ ÀÌ°°Àº ¹®Á¦ÇØ°áÀ» ÅëÇØ ºÒ·®·üÀ» ÃÖ¼ÒȽÃÅ°´Â °ÍÀÌ ÃÖ»óÀÇ ¿ë±â³»¸éó¸® ±â¼ú”À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
ÀÌ¿Í °ü·Ã ÈÀνÇÅØÀº °í°´ÀÇ ´«³ôÀÌ·Î Á¦Ç°ÀÇ ÀÔ°íºÎÅÍ Ãâ°íÀÌÈÄ À̷°ü¸®¿¡ À̸£±â±îÁö ü°èÀûÀÎ °ü¸®½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇÏ°í ¼ÒÇü 1~13.4§¤¿¡¼ºÎÅÍ ÁßÇü 20~47.5§¤ ¹× 460§¤ YÅæ ½Ç¸°´õ¿¡ À̸£±â±îÁö ´Ù¾çÇÑ ¿ë·®ÀÇ ¿ë±â¸¦ ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ°í °¡µ¿´É·ÂÀº ÀÏ»ê±âÁØ 50°³ ¿ë±â¿¡ ´ëÇØ ¹Ù·¼¿¬¸¶Ã³¸®°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù.
ÀÌ¿Í ´õºÒ¾î ¿ë±âÀÇ Àüó¸® Á߿伺À» °Á¶ÇÑ µ¿½Ã¿¡ ¿ë±â±¸¸Å¿Í °ü·ÃÇؼµµ ±¹³»¿Ü Á¦Á¶¾÷ü¿ÍÀÇ ¿¬°è¸¦ ÅëÇØ ÃÖ»óÀÇ Ç°ÁúÀ» ¿ø½ºÅéÀ¸·Î À̾ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÆǸŻç¾÷µµ º´ÇàÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù. Áï °í°´ÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ¿ë±â¸¦ ÁÖ¹®°ú µ¿½Ã¿¡ ³»¸éó¸®¿Í ¹Ù·¼¿¬¸¶¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ³³Ç°±îÁö À̾îÁö´Â ÃÖÀûÀÇ °ø±Þ½Ã½ºÅÛÀ» ÃßÁøÇÑ´Ù´Â ¹æħÀÌ´Ù.
ÇöÀç ÈÀνÇÅØÀº ¹ÝµµÃ¼ ¹× Ư¼ö°¡½ºÁ¦Á¶¾÷ü¿¡ÀÇ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ °ø±Þ°ú ¹°·ù¿¡ ÃÖÀûÁö·Î Æò°¡¹Þ´Â Áߺΰí¼Óµµ·Î °ïÁö¾ÈIC Àαٿ¡ ÀÚ¸®Àâ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ µî ÷´Ü»ê¾÷¿¡ ÀÖ¾î¼ Àç·áÀÇ Ç°Áú°ú °¡°ø¼ÒÀçÀÇ ¿ÂÀüÇÑ °ø±Þ°ú Ç°ÁúÀ¯Áö ¹× »ç¿ë¿¡ ÀÖ¾î¼ À¯ÅëÆ÷ÀåÀçÀÇ Á߿伺Àº µÎ¸»ÇÒ ³ªÀ§°¡ ¾øÁö¸¸ 2~3Â÷ ¿À¿°À¸·Î ÀÎÇÑ Ç°ÁúÀúÇÏ°¡ ¹®Á¦·Î ÁöÀûµÅ ¿Ô´Ù. ƯÈ÷ ¼øµµ 0.000001%¿¡µµ ¹Î°¨ÇÑ °¡½ºÇ°Áú À¯Áö¸¦ À§ÇÑ À¯Åë¿ë±âÀÇ ÀüÈÄ󸮴 Àý´ëÀûÀÎ °íµµÀÇ ±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ºÎºÐÀ̱⵵ ÇÏ´Ù.
ƯÈ÷ ÃÖ±Ù¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼¿ë»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÀÇ·á¿ë°¡½º¿Í ½ÄÀ½·á¿ë °¡½º¿¡ ´ëÇؼµµ ¿ë±âÀÇ ³»¸éó¸® Çʿ伺ÀÌ Àû±ØÀûÀ¸·Î ¿ä±¸µÇ¸é¼ ¹Ù·¼¿¬¸¶ µî°ú °ü·ÃÇÑ ¿ë±â ³»¸éó¸® ½ÃÀåÀº Áö¼ÓÀûÀÎ ¼ºÀå¼¼¸¦ ±¸°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. |