¼¼°è ÃÖ´ë »ïºÒÈÁú¼Ò(NF©ý) »ý»ê´É·ÂÀ» °®Ãá SK¸ÓƼ¸®¾óÁî(´ëÇ¥ Àå¿ëÈ£)°¡ ´Ã¾î³ª´Â NF©ý ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ ¹ß ¸ÂÃç Ãß°¡ Áõ¼³¿¡ ³ª¼±´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ÃÖ±Ù °ø½Ã¸¦ ÅëÇØ ½Å±Ô ½Ã¼³ÅõÀÚ¿¡ ´ëÇÑ º¯°æ»çÇ×À» ¹àÇû´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¸£¸é ȸ»ç´Â NF©ý »ý»ê¼³ºñ¸¦ Áõ¼³Çϱâ À§ÇÑ ÅõÀÚ°èȹÀ» º¯°æ, ±âÁ¸ 1,298¾ï¿ø¿¡¼ 228¾ï¿øÀ» Ãß°¡ÇØ ÃÑ 1,526¾ï¿øÀ» ÅõÀÚÇÏ°Ô µÈ´Ù. °èȹ º¯°æ¿¡ µû¶ó ÅõÀڱⰣÀº ¿ÃÇØ 11¿ù 30ÀÏ¿¡¼ ³»³â 12¿ù 31ÀϱîÁö·Î ´Ã¾î³ª¸ç NF©ý »ý»ê´É·Âµµ ¿¬°£ 2,500Åæ¿¡¼ 3,000ÅæÀ¸·Î Áõ°¡ÇÑ´Ù.
ÀÌ¿¡ ¿ÃÇØ ¸» ±âÁØÀ¸·Î SK¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ NF©ý »ý»ê´É·ÂÀº 1¸¸600ÅæÀ» º¸ÀÏ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ¸ç,Ãß°¡ Áõ¼³ÀÌ ¿Ï·áµÇ¸é 1¸¸2,100ÅæÀ¸·Î ¼¼°è ÃÖ´ëÀÇ NF©ý »ý»ê´É·ÂÀ¸·Î ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀ» º¸´Ù °ø°íÈ÷ ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ°í ÀÖ´Ù.
ȸ»ç ÃøÀº “À̹ø °ø½Ã´Â Ư¼ö°¡½º ¼ö¿äÁõ°¡ ´ëÀÀ ¹× ÆǸŠȮ´ë¸¦ ÅëÇÑ ½ÃÀåÁö¹è·Â °È¸¦ À§ÇÑ °Í”À̶ó¸ç “°æ¿µÈ¯°æ º¯È¿¡ µû¶ó ÅõÀÚ±Ý¾× ¹× ±â°£ÀÌ º¯°æµÉ ¼ö ÀÖ´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
ÇöÀç ȸ»çÀÇ 2016³â NF©ý ¸ÅÃâÀº 3,390¾ï¿ø, 2017³âÀº 3,349¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù. ¿ÃÇØ´Â ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ È£Á¶¼¼¿Í ¸Â¹°·Á 4,025¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí NF©ý¸¦ ºñ·ÔÇØ À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ(WF₆),¸ð³ë½Ç·¹ÀÎ(SiH©þ), µð½Ç·¹ÀÎ(H₆Si©ü) µîÀÇ ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º¸¦ Á¦Á¶, °ø±ÞÇÏ´Â SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ¾ó¸¶ ÀüºÎÅÍ Àü±¸Ã¼(Precursor) Á¦Á¶¾÷¿¡µµ ¶Ù¾îµé¸ç »ç¾÷À» È®ÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ÀϺ» Æ®¸®ÄɹÌÄ®Þä¿ÍÀÇ ÇÕÀÛ¹ýÀÎÀÎ SKÆ®¸®ÄÍÀ» ¼¼Á¾½Ã ¸íÇлê´Ü¿¡ Àü±¸Ã¼Á¦Á¶°øÀåÀ» ¼³¸³, °¡µ¿ÇÏ°í Àִ ȸ»ç´Â ÀϺ» ¼î¿Íµ§Äڿ͵µ ¼ÕÀâ°í ÇÕÀÛ ÀÚȸ»çÀÎ SK¼î¿Íµ§ÄÚ¸¦ ¼³¸³, ½Ä°¢°¡½º¸¦ Á¦Á¶, °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. |