린데가 중국 화홍그룹 산하 반도체 파운드리 기업인 상하이 화리 마이크로일렉트로닉스(HLMC)의 상하이 공장 내에 신규 온사이트 ASU플랜트를 준공하고 상용가동에 돌입했다고 밝혔다.

신규 ASU는 HLMC와의 장기 산업용가스 공급 계약에 따라 건설한 것으로, 향후 12인치 웨이퍼 생산라인에 대량의 질소와 고순도 산소·아르곤을 공급하게 된다. 정확한 투자금액이나 공급량은 확인되지 않았다. 다만 이 플랜트에는 HLMC의 요청에 따라 별도의 압축건조공기(CDA) 시스템과 온사이트 질소제너레이터도 포함돼 있는 것으로 알려졌다.

린데 관계자는 “최근 중국 전자·반도체 산업의 기술발전으로 고품질 산업용가스 공급의 중요성이 더욱 커지고 있다”며 “지속 가능하고 에너지 효율적인 가스공급 시스템을 바탕으로 HLMC를 포함한 중국 내 전자·반도체 고객 확장에 적극 노력할 것”이라고 말했다.

한편 린데는 HLMC 상하이 공장에 대한 수소와 헬륨 공급권도 확보한 상태다.