SK머티리얼즈(대표 이용호)가 최근 반도체 제조 과정 핵심 소재인 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작해 주목을 받고 있다.

지난해 일본과의 무역분쟁으로 인해 일본이 불화수소를 포함해 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트 등 3대 품목에 대해 수출 규제를 단행하면서 이후 국산화 개발에 착수한지 약 1년도 안 되는 기간에 양산에 성공한 것이다.

SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후 경북 영주 공장에 15t톤 규모의 생산시설을 건설하며 국산화 작업을 진행해왔다. SK는 이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 계획이다.

이와 함께 SK머티리얼즈는 불화수소와 함께 고부가 포토레지스트 영역에서도 국산화 작업을 진행해 최근 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다. SOC는 포토레지스트 보조재로 패턴이 무너지지 않게 보호해 주는 소재이며 불화아르곤 포토레지스트는 포토레지스트의 일종으로 두 제품 모두 초미세 패턴 형성에 쓰이는 대표적 고부가 제품이다. 특히 불화아르곤 포토레지스트는 해외의존도가 90%에 달해 제품 양산이 본격화되면 국내 반도체 제조사들에 소재를 안정적으로 공급할 수 있다. SK머티리얼즈는 내년 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만갤런의 포토레지스트 생산을 목표로 하고 있다.