3년만에 돌아온 국내 최대 반도체 장비·재료 전시회인 ‘세미콘 코리아(Semicon Korea) 2022’이 지난 2월 9일부터 2월 11일까지 3일간 서울 삼성동 코엑스 전시장에서 개최됐다.

세미콘코리아는 1987년 국내에서 처음 개최된 반도체 산업 대표 전시회다. 우리나라 반도체 산업 성장과 궤를 같이하며 장비·재료 분야 국내 최대 행사로 자리매김했다. 지난 2년은 코로나 19 대유행으로 오프라인 행사가 취소된 바 있다.

철저한 방역 수칙을 준수하며 3년 만에 오프라인으로 진행된 이번 전시회는 전세계 반도체 장비재료 산업을 선도하는 20여개국, 500여개 업체가 참가해 자사의 각종 반도체 관련 장비와 신기술 등을 선보였다.

반도체 관련 장비·시스템 등 제품 및 기술 홍보

이번 행사의 주요 출품 목록으로는 반도체 제조공정에 쓰이는 각종 특수가스 생산 기술 시스템과 함께 프라즈마 운용시스템, 액체 초저온 장비, 리모드 모니터링 시스템, 가스 캐비닛 등 가스관련 장비 수십여 종과 기술들이 전시 및 소개됐다.

우선 케이씨텍을 비롯해 유진테크, 에드워드, 동우화인켐, 한양이엔지, 주성엔지니어링 등의 반도체 장비업체가 최신 반도체·장비관련 제품과 태양전지 제조 장비를 선보이며 관람객들을 맞았다.

이 가운데 케이씨텍은 관계사인 케이씨이엔씨, 케이씨티엔에스, 케이씨케이테크 등과 함께 참가해 반도체 세정장비(Cleaner) 및 웨이퍼 연마장비(CMP) 등을 비롯해 신수종사업인 전자소재와 관련, 지르코늄산화물(지르코니아)을 활용한 신소재인 고굴절도료를 공개했다. 특히 회사는 합작사와 자회사를 통해 울트라 퓨어가스 퓨리파이어를 비롯해 토탈가스 스크럼버 솔루션, 반도체 연마제(슬러리) 등 반도체와 디스플레이 장비는 물론 전자소재 등 유관분야 사업을 패널로 소개해 눈길을 끌었다. 함께 참가한 관계회사인 반도체관련 특수가스 및 케미칼 유통업체인 케이씨티엔에스는 같은 부스를 통해 고순도 가스플랜트 제조기술과 가스공급시스템을 비롯해 이와타니의 특수가스(헬륨, 크세논, 크립톤, 네온)와 논-플라즈마 자가 클리닝 가스, 클린용기 등을 패널로 소개하기도 했다.

이어 진공 펌프 및 가스처리기술의 세계적인 선두주자인 에드워드 코리아는 펌프의 주요품인 로터와 스테이터를 보호해 기존 플레이팅 기술의 한계점을 극복한 에드워드의 XCEDE 기술이 접목된 ‘iXM1800 XCEDE’ 건식 펌프 와 기존 ‘iXH시리즈’ 제품 대비 더욱 향상된 기능이 추가된 신제품 ‘iXH6550HTX’를 선보였다.

특수가스 및 밸브·레귤레이터 제품 눈길

원익머트리얼즈·로타렉스 루스테크·로타렉스 코리아 등

이번 행사에서는 예년과 같이 반도체 장비·재료 업체 뿐 아니라 제조공정에 사용되는 산업용가스 관련 업체도 참가해 각종 특수가스 관련 장비와 생산기술 시스템 등을 선보였다.

원익IPS, 원익쿼츠 등 관계사와 함께 참가한 토종 특수가스업체인 원익머트리얼즈도 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 비롯해 ISO Supply System, 각종 정제장치 등을 선보이며 관람객들을 맞았다. 이 회사는 Y톤용기 및 톤실린더 시스템을 통해 공급하는 포스핀(PH3), 이산화탄소(CO2), 염소(Cl2), 육불화황(SF6) 등을 안내책자와 패널을 통해 소개하기도 했으며 ISO튜브트레일러를 통해 공급하는 고순도 암모니아(NH3)를 비롯해 아산화질소(N2O), 저메인(GeH4), 디실란(Si2H4) 등의 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 바이어들에게 홍보하며 높은 관심을 얻었다. 특히 실리콘(Si) 기반의 전구체인 HCDS(Si2Cl6), 3DMAS, BDEAS와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 전구체 Cp-Zr 등도 소개됐다.

초소형 전자산업용 특수가스, 화학물질 등 첨단소재 처리솔루션을 제공하는 인테그리스는 반도체공정에 사용되는 재료나 케미컬을 안전하게 보관운송하는 제품들을 선보여 눈길을 끌었다. 특히 이번 전시회에서는 레귤레이터를 장착한 소형 특수가스용기에 아르신(AsH3)과 포스핀(PH3) 등의 가스를 충전한 제품을 중점 홍보했다. 아울러 회사는 반도체 및 LED응용분야의 웨이퍼 수율을 대폭 개선해 주는 가스정제시스템(GPS)인 게이트키퍼(Gate Keeper)와 함께 최첨단 POU(point-of-use) 포토리소그래피 애플리케이션을 위한 혁신적인 Oktolex 멤브레인 기술도 함께 공개했다.

한편 가스 밸브 및 레귤레이터 등 장비와 관련해서는 로타렉스그룹의 한국총판으로 특수가스 장비 전문기업인 로타렉스 루스테크는 특수가스용 실린더 밸브(PURETEC), 라인용 밸브 및 레귤레이터(EQUIPMENT), 커넥터 및 피팅류, 고유량의 벨로우즈 밸브를 비롯해 산업용 밸브(INDUTEC)와 소방용 밸브 및 시스템(FIRETEC), 의료용 밸브 및 레귤레이터(MEDITEC), CNG & H2용 차량용 밸브 및 레귤레이 (AUTOMOTIVE), 탄산수 시스템 (BUBBLE BOX) 등 가스가 사용되는 다양한 산업분야에서 적용이 가능한 밸브 및 레귤레이터 & 피팅류 들을 선보였다. 특히 이 가운데 작업자들의 위해요소 제거와 안전을 고려하고 특수가스의 공급 시스템을 자동화하기 위해 고안된 자동화시스템용 뉴메틱 밸브가 관람객들의 눈길을 끌었다. 또한 공기의 압력을 이용해 자동으로 작동하는 자동밸브가 바이어들의 호평을 얻었으며 소공간 자동 소화 시스템 및 완벽한 감지 및 화재 진압 시스템도 주목을 받았다. 아울러 회사는 최근 이스라엘의 유명 밸브업체인 HABONIM(하보님)을 통해 국내 수입 공급하고 있는 HermetiX 화재 안전밸브 시리즈를 신제품으로 선보였다. 회사측에 따르면 하보님 제품은 극한의 환경에서도 뛰어난 내구성을 자랑하며 제품 출시 전 엄격한 테스트를 거쳐 품질 면에서 세계적으로 인정받고 있는 것으로 알려졌다.

이밖에도 하반기 충남 아산에 생산공장을 구축하고 있는 로타렉스의 한국지사인 로타렉스코리아도 고순도 가스용 밸브 등을 선보였으며 드라스타, 성화전자, SMC코리아, UCT코리아, 가스트론, UNILOK, 아래스 YUTAKA, 스웨지락 등도 초고순도 밸브 및 레귤레이터, 가스 검지기·경보기 등의 가스관련 장비를 출품하며 자사제품을 홍보했다.