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반도체·LCD 경기호전으로 NF3 시장도 후끈미쓰이화학 화재로 국내업체 반사이익…공급량 줄어 |
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지난해 4분기이후 반도체·LCD경기가 호전되면서 반도체 생산 공정에서 핵심 소재로 사용되는 NF3(삼불화질소)시장도 후끈 달아오르고 있다.
소디프신소재·후성·효성 등 국내 주요 NF3 업체는 최근 반도체·LCD 업황 상승에 힘입어 생산량을 늘리고 증설 계획을 서두르고 있는 것으로 나타났다.
특히 지난 연말 일본 NF3 공급업체인 미쓰이화학이 화재 사고로 생산 설비가 파괴되면서 국내 업체가 반사 이익을 누리고 있다.
관련업계에 따르면 통상 분기별로 단가가 인하됐던 NF3 가격이 현재 kg당 40달러 선에서 머무르고 있는 등 공급량이 현격히 줄어든 상황으로 전해졌다.
이는 최근 반도체·LCD 경기 상승에 따라 수요량은 늘었지만 일본 미쓰이화학 화재 사고로 인해 공급이 줄어든 것이다.
미쓰이화학은 지난해 기준으로 전 세계 NF₃시장의 16%(약 170톤)를 차지했다. 이에 따라 국내 업체는 공급량을 늘리고 계획했던 라인 증설 작업에도 박차를 가하고 있다.
우선 국내 최대 반도체·LCD용 특수가스 제조업체인 소디프신소재는 경상북도 영주에 연 2,500톤 규모의 NF3 생산 공장을 갖추고 있다. 특히 SiH4, WF6 등 다양한 특수가스를 생산하는 이 회사는 최근 NF3 공급량이 대폭 증가한 것으로 나타났다.
2011년까지 3,000톤 규모의 생산설비를 증설, 총 5,500톤까지 생산 능력을 확대할 계획에 있는 소디프신소재는 우선 올해에만 1,000톤 규모의 신규라인 가동을 앞두고 있다.
또한 지난 2008년 울산화학을 흡수·합병하며 특수가스 사업에 박차를 가하고 있는 후성은 현재 울산 공장에서 연간 600톤 가량의 NF3를 생산하고 있다.
후성은 장기적으로 1,200톤까지 생산능력을 늘방침으로 전해졌으며 연간 300톤 가량의 NF3를 공급하고 있는 후발주자 효성도 생산능력을 높이기 위한 작업에 착수한 것으로 전해지고 있다.
하지만 이같은 국내 업체들의 증설계획에도 불구하고 단기간에 생산능력을 높이기는 어려운 만큼 현재의 수급 상황은 한동안 지속될 것이란 게 관련업계의 판단이다.
한편 NF3는 반도체·LCD 생산 중 CVD 공정에서 기판에 증착되지 않고 장비 내벽에 묻은 잔류물을 제거하는 데 사용고 있으며 SiH4(모노실란)·He(헬륨)과 함께 반도체·LCD 생산에 사용되는 특수가스 중 가장 많은 양을 차지한다. |
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