국내 최대 반도체 장비·재료 전시회인 ‘세미콘코리아(Semicon Korea) 2014’가 지난 2월 12일부터 2월 14일까지 3일간 서울 삼성동 코엑스(COEX) 전시장에서 성황리에 개최됐다.
올해로 27회째를 맞은 이번 행사에는 전세계 20개국, 530여 업체가 참가해 자사의 각종 반도체 관련 장비와 신기술 등을 선보였다. 특히 이번 전시회는 지난해부터 회복세를 이어가고 있는 반도체 경기와 맞물려 참가 업체수는 물론 관람객들도 큰 폭으로 늘어나 올해 반도체 시장을 기대케 했다.
무엇보다 올해 세계 반도체시장은 지난해보다 4.1% 증가한 3,166억달러의 시장을 형성할 것이라는 전망과 함께 삼성과 SK하이닉스 등 국내 반도체 제조업체의 투자 확대 예상 소식에 전시회장은 지난해보다 훨씬 활기찬 모습이었다.
이번 행사의 주요 출품 목록으로는 각종 특수가스 생산 기술 시스템과 함께 프라즈마 운용시스템, 액체 초저온 장비, 리모드 모니터링 시스템, 가스 캐비닛 등 가스관련 장비 수십여 종과 기술들이 소개됐다.
우선 케이씨텍을 비롯해 에드워드코리아, 동우화인켐, 동진세미켐, 한양이엔지, 주성엔지니어링 등의 반도체 장비업체가 최신 반도체·장비관련 제품과 태양전지 제조 장비를 선보이며 관람객들의 눈길을 끌었다. 특히 주성엔지니어링은 최근 반도체 업계의 핵심 이슈인 미세 공정화에 부응하면서도 생산성을 개선시킬 수 있는 공간분할 플라즈마 화학증착기, 플라즈마 식각장비 등을 비롯한 다양한 제품들을 대거 출품했다. 또한 지멘스는 통합자동화 및 제어시스템 솔루션과 반도체 및 디스플레이 제조와 생산, 운영 및 유지 보수 등 전단계에 걸쳐 적용할 수 있는 최신 산업용 컴퓨터와 보안 및 안전, 자동화 시스템을 선보였다.
이와 함께 에드워드코리아는 반도체 및 LED, 태양전지 등 산업 전반에 사용되는 차세대 드라이 진공펌프 시리즈를 선보여 눈길을 끌었으며 일본 스미토모화학의 자회사인 동우화인켐은 반도체와 LCD 디스플레이 포토레지스트, 기능성 세정액, 식각 후 감강제인 스트리퍼(Stripper), 웨이퍼 화학적기계연마(CMP) 슬러리 첨가제, 편광필름, 확산판, 도광판 등 디스플레이 전자 재료 및 화학소재 등을 출품했다.
산업용가스 관련 업체 자사 신제품 및 신기술 홍보
지난해에 이어 참가업체수는 줄었지만 반도체 장비·재료 업체 뿐 아니라 여기에 사용되는 산업용가스 관련 업체도 다수 참가해 각종 특수가스 관련 장비와 생산기술 시스템 등을 선보였다.
이 가운데 글로벌 산업용가스 업체인 에어프로덕츠코리아는 올해 반도체, LED, MEMS, TFT-LED 등의 공정용 가스로 쓰이는 각종 특수가스를 비롯해 특수가스 ISO delivery system 등을 전시부스 패널을 통해 선보였다. 프랑스의 에어리퀴드는 혁신기술을 통한 온사이트 질소플랜트인 APSA(Advanced Product Supply Approach)와 전세계 D램 제조에서 중요한 High-K 프리커서로 각광 받고 있는 ZyALD™ 등 ALOHA 제품라인을 책자와 판넬을 통해 전시했다. 원익IPS, 원익쿼츠 등 관계사와 함께 참가한 토종 특수가스업체인 원익머트리얼즈도 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 비롯해 ISO Supply System, 각종 정제장치 등을 선보이며 관람객들을 맞았다. 특히 회사는 ISO튜브트레일러를 통해 공급하는 고순도 암모니아(NH3)를 비롯해 아산화질소(N2O)를 소개했으며 최근 국내 생산체제 구축 중인 저메인(GeH4), 디실란(Si2H4) 등의 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 바이어들에게 소개하며 높은 관심을 얻었다. 뿐만 아니라 회사는 Y톤용기 및 톤실린더 시스템을 통해 공급하는 포스핀(PH3), 이산화탄소(CO2), 염소(Cl2), 육불화황(SF6) 등을 안내책자와 패널을 통해 소개하기도 했다. 벨기에에 본사를 둔 솔베이도 정밀화학분야와 함께 환경준수 혼합물, 기타 전문 혼합가스, 퓨어&벌크가스 등을 패널과 안내책자를 통해 소개했다.
이밖에 로타렉스그룹의 한국총판으로 특수가스 장비 전문기업인 로타렉스 루스테크(대표 진경진)가 모노실란(SiH4) 등의 실란계 가스용 밸브 및 레귤레이터 라인업인 S-라인과 불소(F2)용인 F라인, 삼불화질소(NF3)용인 T라인 등의 특수가스 전용 밸브제품 라인업을 선보여 바이어들의 호평을 얻었다. 드래곤정공, 성화전자, 하니웰, 하이록코리아, 와이즈산전, UCT코리아, 큐록, 가스트론 등도 밸브 및 레귤레이터, 가스 검지기·경보기 등의 가스관련 장비를 출품하며 자사제품을 소개했다.
이와 함께 미국에 본사를 둔 오염관리 전문회사인 한국폴은 유수 국내 산업용가스 메이커에 납품되고 있는 초고순도 가스 정제기(다양한 가스에 적용 가능)를 비롯해 반도체 암모니아 공정에서 사용되는 최신 HB-LED용 암모니아 가스 퓨리파이어를 선보였다. 특히 최근 개발된 질소 내 수분 측정을 위한 고감도 분석기는 바이어들에게 높은 관심을 끌었다.
또 반도체 생산용 소재 및 재료 패키징 업체인 미국 ATMI는 안전성과 우수한 성능을 자랑하는 가스시스템 기술과 반도체 패키징 기술을 선보였다. 이 가운데 반도체 이온 주입공정에서 대기압보다 낮은 압력을 이용해 유해가스를 안전하게 차단할 수 있는 SDS 가스실린더와 소스가스를 담는 실린더(삼성전자·SK하이닉스에 공급)가 눈길을 끌었다.
이밖에도 반도체 진공밸브 업체인 테라텍은 플라즈마 클리닝시스템을 비롯해 가스정화 시스템, 가스공급 시스템, 수소충전소 시스템 등의 기술을 선보였으며 공압기기 제조 전문업체인 CKD는 질소 유량컨트롤러를 비롯해 질소 공급 시스템 유닛, 프로세스 가스용 레귤레이터 등을 출품했다. 또 케이씨텍과 자회사 케이씨이앤씨는 고순도 가스플랜트 제조기술과, 가스공급시스템 등을 패널로 소개 했다. 회사는 이와타니의 Rare 가스(크세논, 크립톤, 네온)와 논-플라즈마 자가 클리닝 가스도 함께 패널로 선보이기도 했다.
실란 안전세미나 등 다양한 세미나 및 포럼 진행
이번 전시회는 제품 및 기술 전시 외에도 반도체 공정별 전문가가 단계별 공정 이슈와 최신 기술을 논하는 세미(SEMI) 기술심포지엄, 센서기술에 초점을 둔 시스템LSI 포럼, 테스트 포럼, 측정 및 검사 포럼, 마켓 세미나 등이 진행됐다.
이 가운데 실란가스의 안전관리와 시장 현황에 대해 살펴보는 ‘실란 안전 세미나’가 개최돼 높은 관심을 얻었다.
행사 첫날 열린 이 세미나에서는 대성산업가스 김경호 차장이 ‘실란가스 처리 및 안전 제어’란 주제발표를 통해 실란 취급시 기본 수칙을 설명했으며 프렉스에어 헹 추 박사는 ‘실란 공급 시스템의 안전’을 설명하며 실란 취급 장소의 시스템과 사고시의 대응방법, 안전 프로세스에 대해 설명했다. 아울러 에어리퀴드 데니스 루핀 박사는 ‘실란시장의 수요 및 공급’이란 주제발표를 통해 실란 생산자들의 생산 현황을 설명했다.
이밖에도 이번 세미콘 코리아에서는 반도체 관련 국제 표준을 소개하는 세미 표준 프로그램, 주요 해외 소자업체가 참여하는 구매상담회, 글로벌 장비 공급업체와 국내 부품업체간 신규 비즈니스 협력을 지원하는 OEM 해외 장비업체 구매상담회, 업체 리더들이 참여하는 프레지던트 리셉션 등 다채로운 행사가 마련돼 관람객들은 물론 해외 바이어들의 높은 관심을 끌었다.
한편 이번 행사는 지난해와 마찬가지로 국내 유일의 디스플레이 및 반도체 조명 전시회인 ‘LED KOREA’가 동시에 개최돼 각종 LED반도체조명, 디스플레이 장비와 재료, 테스트와 측정 장비 등의 제품과 기술 등을 선보이며 반도체 인접산업에 대한 현황과 전망 그리고 시장진출 및 신규개척 등에 관한 다양한 정보를 제공했다.
반도체 시장 역성장 ‘끝’
업체별로 최대 20% 성장 예상
이번 세미콘코리아 개막에 앞서 기자간담회가 개최됐다.
이날 기자간담회에서 국제반도체장비재료협회(SEMI)의 데니 맥거크 회장은 “올해 세계 경제 성장세에 따라 반도체 업황도 개선될 것으로 예상되면서 시장 전망이 지난해 보다 밝다. 특히 반도체 투자와 제조에 있어서도 훨씬 긍정적인 요인이 많다. 특히 이동성, 연결성과 관련된 기술들이 투자를 이끄는 중요한 동력이 될 것으로 본다”고 말했다.
SEMI가 소개한 다양한 시장조사업체의 전망치에 따르면 올해 전 세계 반도체 소자 시장 매출 규모에 대해 업체별로 보수적으로는 4%대에서 최대 20%대까지 성장을 점치고 있다.
SEMI 역시 시장전망치에 부합하는 수준의 성장률을 예상했다.
멕거크 회장은 “많은 전문가들이 올해 글로벌 GDP가 3% 정도 성장할 것으로 내다보고 있으며 이에 따라 반도체 시장 매출에 있어서도 견조한 성장세가 예상된다”면서 “전 세계 반도체 산업은 한 자릿수 중후반대로 성장할 것으로 보고 있다”고 말했다.
이에 따라 신규 투자 부진으로 2년 연속 역성장했던 반도체 장비 시장 규모는 올해 20% 이상 성장세를 보일 것으로 전망된다. 대부분의 반도체 시장 지표도 회복세를 보이고 있다. 국가별로는 한국과 대만, 북미가 신규 반도체 투자를 이끌 것으로 전망된다.
SEMI에 따르면 지난해 신규 반도체 장비투자액은 326억달러로 지난 2012년 대비 13% 정도 하락했다. 올해 반도체 장비 시장 규모는 약 400억달러로 전년 대비 23% 수준의 성장이 예상된다. 반도체 소재 시장 규모 역시 전년 대비 소폭 증가(2.2%)해 455억달러에 이를 것으로 예상된다.
이와 함께 지난해 4분기 하락했던 반도체 출하량도 올해 1분기 5~6% 증가가 전망된다. 지난 2012년 정점을 찍은 후 부진한 모습을 보였던 북미 BB율(반도체 장비 제조업체들의 3개월 평균 출하액 대비 수주액 비율)도 업체들의 지출이 늘어나면서 올해 상반기 수주율과 출하율이 모두 개선될 것으로 보인다.
맥거크 회장은 올해 반도체 제조 기술의 변곡점이 되는 한 해로 다양한 기술 과제를 꼽으면서 이를 극복하는데 한국 업체들이 선도적인 역할을 할 것으로 내다봤다. 장비와 재료 분야 투자에 있어서도 국내 업체들의 역할이 중요하게 거론된다. SEMI에 따르면 올해 국내 반도체 시장에서는 장비와 재료 부문을 합쳐 약 140억달러(약 15조원) 수준의 투자가 이뤄질 것으로 전망된다.
그는 “리소그라피의 성능 개선은 물론 자외선이나 멀티패턴 기술도 중요한 과제이며 새로운 패키징 기술인 3D나 TSV를 통해 더 많은 성능 향상이 이뤄질 것”이라며 “이와 함께 450mm 웨이퍼 도입은 생산비용을 줄이는데 지렛대 역할을 해줄 것”이라고 말했다.
맥거크 회장은 이어 “한국은 최대 규모의 300mm 생산능력(CAPA)을 가진 국가로 특히 D램과 낸드 최신 기술은 물론 생산능력에 있어서도 선도적인 역할을 하고 있다”며 “한국 업체들이 투자는 물론 새로운 재료를 개발하고 칩과 패키징을 통합하는 등 제조상의 어려움을 극복하는데 계속해서 선도적인 역할을 할 것”이라고 기대했다.
